SCM7000HP
- 产品描述
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PBI SCM7000HP（高纯度PBI）
适用于半导体制程设备用母材
SCM7000HP是经过热压成型制成的100%PBI材料：高纯度PBI具有极低的金融含量和低释氧特性
特性
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超高纯度：低金属含量，低释氧性
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机械特性：优良的机械强度及硬度
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热特性：超高耐热性，低线膨胀系数，低导热性
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高电阻抗值：优良的抗PLASMA特性
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高耐化性：对有机溶剂，酸和碱的耐化性
SCM7000HP物性表
项目
条件
标准
单位
物性
SCM7000HP
拉伸强度
23°C
ISO 527
MPa
160
拉伸伸长度
23°C
ISO 527
%
3.0
弯曲强度
23°C
ISO 178
MPa
220
弯曲弹性模数
23°C
ISO 178
GPa
6.5
Charpy 冲击强度(缺口)
23°C
ISO 179
kJ m-2
4.0
热膨胀系数
< Tg
JIS K7197
ppm °C-1
23
表面电阻值
23°C
ANSI/ESD STM11.13
Ω
> 1013
吸水率
23°C、24 hr
ISO 62
%
0.40
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